荷蘭ASML掌握全球頂級的光刻機制造技術,是唯一能量產EUV光刻機的廠商,制程低一些的DUV光刻機也是ASML占據市場主導地位。
可即便荷蘭光刻機產業實力再強,也成為了美國的「打手」,荷蘭已正式宣布,禁售DUV光刻機。中國傳來消息,正式回應稱:若別無選擇,將自主制造。
EUV光刻機使用了大量美國技術,所以當美國有意限制EUV光刻機出貨的時候,荷蘭ASML公司無法拒絕。
不過對于DUV光刻機,美國技術占比并不高,且ASML自研深耕了幾十年,美國已無法從技術的角度對DUV光刻機展開限制。
于是荷蘭成為了美國拉攏的對象,要求荷蘭加入限制陣營。起初荷蘭的態度是拒絕的,表示不會照搬美國對華的政策。本以為荷蘭的態度能堅持到底,沒想到今年1月底ASML傳來荷蘭、美國、日本達成協議的消息,荷蘭最終還是妥協了。
在3月8日,荷蘭宣布對最先進的DUV光刻機實施出口管制。根據ASML的解讀,「最先進的」DUV光刻機涉及NXT:2000i及以上型號的設備。先進制程較低的DUV浸潤式光刻機是能夠繼續出貨的。
ASML分析可出貨的范圍,是在表達會繼續和客戶保持合作意愿,并不是所有的DUV光刻機都會被限制,其余可出貨的產品可放心購買。
盡管如此,荷蘭妥協的態度已經說明一切,這次能夠妥協,下一次呢?若美國有更多的限制需求,荷蘭是否還會限制更多設備出貨。從EUV光刻機到DUV光刻機,外界認為不可能發生的限制行動都在一步步實現,所以該拋棄幻想,認清現實了。
針對荷蘭的行為,中方回應了, 表示 :「 中國不會忍氣吞聲,如果別無選擇,將會嘗試自主制造類似產品。 」
荷蘭本來可以自己選擇經濟發展方式,把光刻機賣給世界各國供應商。若能保持自由出貨的話,半導體產業經濟肯定能取得更好的成績,ASML的營收也能邁上更高的台階。
只不過荷蘭做出了選擇,站隊美國,結果只會是一地雞毛,將來ASML的光刻機有可能會在中國市場被替代。
中國表明了態度,別無選擇的話就會自主制造。中國有自己的光刻機廠商,名叫上海微電子。目前上海微電子的光刻機可實現90nm芯片量產,別看只有90nm,但上海微電子正在推進193nm波長的ArF浸潤式光刻機,最高可覆蓋45nm-22nm制程。
一旦突破了最終的驗證關卡,替代ASML的部分DUV浸潤式光刻機未必不可能。
ASML也說過,如果不能出貨光刻機給中國,將來中國會自己制造,物理規則在中國也是一樣的,永遠不要說永遠。
ASML說出這番話也許是想引起西方的重視,別一錯再錯了,否則將來會失去這部分的市場生意。當然,也許ASML正視了中國自研的決心,知道中國沒有進口支持的話,就會走自研路線。
歷史上許多案例都證明,國外封鎖的技術最終都被中國搞出來了,然后做大做強,再進一步發展國際市場,把價格打下來,擊敗西方供應商。
最典型的就是盾構機,中國沒有掌握這項技術之前,西方進口的價格是3.5億元,中國打破盾構機壟斷之后,從德國進口一台盾構機只需要5000萬元,日本進口的價格變成3000萬元。
如果國外供應商不接受這樣的價格,中國完全可以自給自足,到時候不但拿不到訂單,還會徹底失去這個市場。因此買賣雙方的關系發生變化,定價權已經在買方手中了,賣方想辦法也要把產品賣出去,談何限制。
同樣的道理,中國目前面臨光刻機的技術難題,雖然難度巨大,但再難的技術都是一點一滴積累起來的。
ASML靠著全球各國的支持,獲得頂級的科技產品把光刻機組裝起來,這背后有難以想象的工作量。短時間內國產光刻機也許無法達到EUV光刻機的水準,不過在DUV光刻機領域,未必不能有國產突破。
先滿足部分需求,再積累更多的研發經驗,繼續瞄準更先進的技術領域出發,直至目標終點。